電界放出型走査型電子顕微鏡

摘要

電子顕微鏡は極めて小さな領域を大きく拡大して観察を行うことができる装置である。一般的に人間の日の解像度は100μm（0．1mm）程度と言われているが，電子顕微鏡を用いて試料観察を行うことで，1μm程度またはそれ以下の試料であっても十分に拡大でき，工業材科や生体材料などの微細構造を簡単に観察することができる。