超高精度加工機用静圧気体軸受スピンドル

摘要

静圧気体軸受スピンドルは、非接触構造による優れた回転特性により、ディスクメディア製造や半導体検査など、様々な装置の性能向上に貢献してきた。最近は、小型の高精度非球面レンズを用いた高機能デジタルカメラ、携帯電話、およびスマートフォンの需要増により、非球面レンズ用金型などの精密加工ツールへの適用が期待されている。本稿では、非球面レンズの製造工程での使用を目的に商品化した加工機用静圧気体軸受スピンドル（以下、加工機用エアスピンドル）の仕様および性能を紹介する。