DLC成膜技術の研究開発動向と高機能トライボ表面プロセス部会の活動状況

摘要

成膜技術は，現代社会を根底から支えている．各種電子デバイスの作製プロセスには，成膜·薄膜加工技術の粋が尽くされており，エレクトロニクス産業はそれらの技術なしでは成り立たない．また自動車のしゅう動部には，めっき，溶射，PVD／CVD技術などを駆使した低摩擦·耐摩耗被膜が使用されており，燃費の向上や部品の長寿命化に大きく寄与している．特に，本稿でフォーカスするDLC 成膜にとっては，PVD／CVD技術はなくてはならないものである．そこでDLC成膜のためのPVD／CVD技術に関する新しい展開を紹介する．