鏡面加工部品における洗浄剤·洗浄方法の選定

摘要

産業分野における洗浄技術は，製造業において製品の高品質化·高機能化·高付加価値化や製造収率の向上のために，製造プロセス·生産ラインに不可欠であるのは言うまでもなく，日本の製造業自体の競争力を強化する重要な役割の一部を担っていると言っても過言ではない。 近年，半導体や精密機器分野の技術進歩に伴い，ますます高精度な洗浄品質が要求されるのに加え，安全性，環境保全，省エネ·省資源，ゼロエミッション，コスト削減等々への更なる取り組みが不可欠となってきている。 本稿では，鏡面加工の金属ミラーの中でも要求清浄度が高いポリゴンミラーの精密脱脂洗浄において，コ·ソルベントシステムを適用した事例を紹介する。