トライボナノ加工－グラフェン、ナノスライダー、ナノスケール（物差し）の形成

摘要

トライボナノ加工は原子オーダの加工を実現できる加工法である。さらに力学的作用のみでなく化学作用または電気作用を複合化すれば、より高精度、付加価値の高い加工が可能になる。本資料が読者の参考になりトライボナノ加工の発展に寄与できれば幸いである。