光通信用光学フィルタの成膜技術及び成膜装置

摘要

近年，インターネット利用者の急激な増加に伴い，光通信は急速に伸び続けている。 それに伴い，高密度波長多重(DWDM)伝送システムの需要が拡大し，様々な光学フィルタの製造が光学薄膜業界に要求された。 その結果，光学薄膜技術及び成膜装置は著しく進歩した。 光通信用フィルタの製造には，成膜のスピードが速く，長期安定性を有し，膜分布の均一性を備えた，リアルタイムでの精密な光学膜厚制御が可能な成膜装置が必要となる。本稿では，光通信用フィルタの製造に要求される成膜技術及び成膜装置について述べる。