7軸CNC研磨機の最新情報

摘要

光学部品として使用する光源波長及び波長帯域によっては，現状の加工結果では十分ではなく，更なる表面性状の改善が求められて来ている。単結晶ダイヤモンド工具を使用して行われる超精密切削加工は工具による工具痕が回折格子並みに揃い，表面粗さが1nmRa以下であっても光学的ノイズの発生源ともなってきている。また，砥石を用いた超精密研削加工の結果も3nmRa又はそれ以下の表面粗さを創生することは可能であるが，最終的に求められる光学表面粗さには達していない。そのような状況下で，更に表面粗さの改善を行うために，非球面研磨用に英国で開発されたCNC7 軸研磨機IRP（Intelligent Robotics Polishers）シリーズの現状及び性能を以下に紹介する。