分割測定法による回転精度検査用標準器の形状評価とその不確かさ推定

摘要

本論文は，まず，形状成分の推定における不確かさ成分のうち，マルチステップ法の分割数に起因する不確かさ成分を推定する手法を明確にする．つぎにその手法を適用し，位相組合せ法により推定される形状成分の拡張不確かさの推定方法を明確にする．考慮する不確かさ成分を明確にすることで，未知の基準球の測定を行なう場合に，予備測定から測定の目標精度とを達成するための分割数を選定する方法を提案する．