キヤノン、次世代半導体露光装置の市場導入に向け米国MIII社を完全子会社化

摘要

キヤノンと米モレキュラーインプリント社（MII、本社：テキサス州オーステイン市）はこキヤノンによるMIIの連結子会社化について、2014年2月5日をもって合意した。これにより、キヤノンは、微細化を実現するナノインプリントを用いた次世代半導体露光装置の商業化に本腰を入れて取り組む。同技術を用いた半導体露光装置は高解像度、優れた重ね合わせ精度、低コストなどの利点があり、主にメモリーの生産に適しているという。