日立電線が最大級の3インチGaNを試作

摘要

日立電線は、去る3月27日～30日に青山キャンパスで開催された第54回応用物理学会連合講演会において、高い再現性を維持した3インチGaN基板を試作したと発表した。 既に3インチ級のGaN基板は発表されているものの、具体的なデータを発表したのは同社が初めてという。 今回の物理学会の発表の場では、どこまで大型化できるのかとの質問がだされ、その回答として、製造装置を整えれば4インチ級の品も簡単にできるとの回答がなされた。