マルチビーム光学系によるプリント配線板穴あけ用レーザ加工機の高速化

摘要

このマルチビーム光学系を2台搭載して4ビーム同時加工を実現した4ビーム加工機“ML605GTF-5150U”を製品化し，従来の2ビーム機と比較して1.6倍の4,915穴／秒の加工速度を達成した。また，高収束光学系を新規に開発し，収差補正／焦点差補正ミラーと組み合わせることによって，集光性向上と焦点裕度拡大を実現し，これまでCO_2レーザでは加工困難とされていたφ40μm級穴の加工を可能とした。