インクジェットの有機TFTプリンテッドェレクトロニクスへの応用

摘要

インクジェット技術はデジタル印刷技術としてプリンテッドエレクトロニクス分野で重要な役割を果たすと期待されている．特に難易度が高い有機TFTアレイの製作への応用は薄膜且つ微細パターン描画が必要であり，インクジェットヘッドとインク物性のみならず基板表面処理や後処理などのプロセス技術の最適な摺合せで初めて実現可能となる．フレキシブルフイルム基板上での有機TFTアレイの製作工程での細線描画技術やフイルム歪みへの対応について解説する．