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机译:使用微细加工的新型气体微阀的设计,制造和表征
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机译:具有可调节背压设计的热驱动快速开启微型阀的制造与表征
机译:外部驱动的开/关微型阀的设计,制造和特性
机译:用于药物递送应用的LIGA制造的微动肢的设计和制造
机译:具有压电单压电晶片隔膜和无源微型阀的多级微型气体压缩机的设计,建模,制造和测试,用于微冷却应用。
机译:神经元记录的3D微电极和纳米电极的制备和表征
机译:使用微细加工和精加工设计,制造和表征新型气体微型阀