机译:使用智能图章进行大面积热纳米压印光刻的紧凑系统
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机译:使用剂量调制电子束光刻和热回流制造具有连续浮雕的3D纳米压印印模
机译:透明的混合聚合物印章副本,具有低于50纳米的分辨率,可用于热和UV纳米压印光刻
机译:使用带有软PDMS压模的热纳米压印光刻技术直接模制硫属化物玻璃波导
机译:纳米压印光刻和发光器件应用的大面积纳米仪的研究进展
机译:使用具有各种微/纳米比的印模进行的紫外线纳米压印光刻的抗蚀剂填充研究
机译:Topas基于芯片的实验室微系统由热纳米压印光刻技术制造