机译:193 nm的水浸式光刻
Optical lithography; Immersion; Excimer lasers; Optical extension.;
机译:193 nm的水浸式光刻
机译:使用水作为浸没液的液体浸没光刻:取向对193 nm处的光散射的作用
机译:使用水作为浸没液的液体浸没光刻:取向对193 nm处的光散射的作用
机译:适用于193 nm光刻和193 nm浸没光刻的新型氟化聚合物
机译:探索基于溶出抑制剂的非化学放大抗蚀剂,用于193 nm光刻。
机译:使用光学探测器阵列的无人水下航行器(UUV)的位置方向和速度检测
机译:接近水的数值孔径 - 在193nm处的浸没式光刻