机译:直流磁控溅射高速率沉积的氢化非晶硅的结晶
Hydrogenated amorphous silicon films; Dc magnetron sputtering; Thermal annealing; Solid-phase crystallization; Si; Kinetics; Films;
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机译:脉冲直流磁控溅射沉积氢化非晶硅沉积温度效应
机译:直流磁控溅射沉积氢化非晶硅氮化硅
机译:直流磁控溅射沉积氢化非晶硅
机译:通过直流磁控反应溅射沉积氢化非晶硅过程中生长通量的表征。
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:磁控溅射钛中间层在硅衬底上沉积非晶碳化硼的生长和物理结构