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X-ray photoelectron spectroscopy of sputter-deposited fluorocarbon films

机译：溅射沉积碳氟化合物薄膜的X射线光电子能谱

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来源
《Journal of Materials Science Letters》 |1999年第5期|共3页
作者
Y. Yamada; T. Kurobe;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工程材料学;
关键词
高聚物; 溅射; 碳氟化合物;

机译：高聚物;溅射;碳氟化合物;

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