Atomic simulation of chemical vapor deposition of (111)-oriented diamond film using a kinetic Monte Carlo method

Grujicic M.

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Atomic simulation of chemical vapor deposition of (111)-oriented diamond film using a kinetic Monte Carlo method

机译：动力学蒙特卡洛方法对（111）取向金刚石膜化学气相沉积的原子模拟

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来源
《Journal of Materials Science》 |1999年第1期|共14页
作者
Grujicic M.;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工程材料学;
关键词
金石; 化学气相沉积;

机译：金石;化学气相沉积;

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