Effects of substrate temperature on the leaning of micropatterns during rinse-dry process

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• 来源
  《Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena 》 |2013年第null期| 共5页
• 作者

  Kim T.-H.; Kim J.; Kim S.; Kim H.-Y.;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 半导体物理学 ;
• 关键词

  Elasto-capillarity; Evaporation; High aspect ratio; Micropattern leaning; PDMS;

  机译：弹性毛细管;蒸发;高长宽比;微图案倾斜;PDMS;