La nano-indentation, le gonflement de film et la flexion de poutre; trois essais complementaires pour caracteriser les proprietes mecaniques des materiaux en faibles epaissures. Application au cas du Nickel electrodepose

摘要

Dans le contexte de la science des materiaux en faibles dimensions qui s'evertue a comprendre le comportement thermomecanique des materiaux utilises dans la realisation des micro-dispositifs, on presente trois techniques experimentales complementaires permettant de quantifier, via des calculs numeriques par la technique des E. F., les comportements elastique et inelastique de la matiere. On presente une application de ces techniques, a savoir: la nano-indentation, le gonflement de films minces la flexion de poutres, au cas du Nickel electrodepose. On en deduit les evolutions du module d'Young, des contraintes residuelles, de la durete et des parametres d'ecrouissage en fonction de la nature du substrate et de la densite du courant d'electrodeposition.