太陽電池用スパッタリングターゲット

摘要

ヘレウスの薄膜材料事業部は，長年にわたり特に磁気記録メディア用途にスパッタリングターゲットを供給してきた。2002年に買収によりその事業範囲を大面積スパッタ（LAC），エレクトロニクス（ELC）分野に拡大した。ヨーロッパでは，省エネルギーの観点からLow-eガラスが広く用いられLACターゲット市場も大きい。