中空糸膜大型脱気モジュールを開発

摘要

DICはこのほど，中空糸膜大型脱気モジュールを開発し，半導体メーカーや液晶ディスプレーメーカーにおける超純水供給設備の大型化への対応品として，4月より販売を開始した。昨今，半導体メーカーなどにおいて，洗浄水を供給する超純水設備の大型化が顕著となり，高性能かつ大型の中空糸膜脱気モジュールが求められるようになっている。