高精度と幅広い温度範囲を持ち合わせる白金測温抵抗体素子

摘要

一般的に温度センサというと，熱電対，サーミスタ，そして白金薄膜抵抗体素子などがある。ここでは，1906年に世界で初めて白金測温抵抗温度計の特許を取得したへレウス社が取扱う白金測温抵抗体素子の概要や特長について紹介させていただく。薄膜型白金測温抵抗体素子は，金属（白金）の電気抵抗値が温度に対してリニア変化する性質を利用し，温度特性が良好で，経時変化が軽微な白金をアルミナ基板に蒸着し測温素子に用いたセンサである。