ALDリキッド·インジェクション·バルブを発表

摘要

日本スウェージロックは半導体製造における原子層蒸着（ALD）工程で液体プリカーサーの使用が増加していることを受けて，新たに「Swagelok ALDリキッド·インジェクション·バルブ」を発表した。 ルブは，極めて正確に，設定した流量によってプリカーサーやパージ·ガスをALD装置のチャンバー内に供給する。