LED用高性能なエッチング液を開発

摘要

林純薬工業は発光ダイオード（LED）プロセスにおけるAlGaAs，GaAs半導体膜·基板，GaP半導体膜·基板表面をエッチングして粗面化（凹凸化）することができる高性能なエッチング液を開発した。8月より順次量産を開始し，2012年に月産40t，月間2，000万円の売上げをめざす。