Asahi Glass Reveals Photo Mask Cover Resin for F_2 Excimer Laser

Japan Chemical Week Group

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Asahi Glass Reveals Photo Mask Cover Resin for F_2 Excimer Laser

机译：旭硝子展示用于F_2准分子激光的光罩盖树脂

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来源
《Japan Chemical Week》 |2001年第2120期|共1页
作者
Japan Chemical Week Group;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类化学工业;
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2. Interaction of F_2 excimer laser pulses with hydroxy groups in SiO_2 glass: Hydrogen bond formation and bleaching of vacuum ultraviolet absorption edge [J] . Koichi Kajihara, Yoshiaki Ikuta, Masahiro Hirano The Journal of Chemical Physics . 2001,第20期

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