Boron carbide thin films deposited by tuned-substrate RF magnetron sputtering

Pascual E.

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Boron carbide thin films deposited by tuned-substrate RF magnetron sputtering

机译：调谐衬底射频磁控溅射沉积碳化硼薄膜

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来源
《Diamond and Related Materials》 |1999年第2amara期|共4页
作者
Pascual E.;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类电热工业、高温制品工业;第Ⅳ族非金属元素及其无机化合物;人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
Boron carbide; Hard coatings; Ion bombardment; Magnetron sputtering;

机译：碳化硼;硬质涂层;离子轰击;磁控溅射;

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