机译:磁控溅射制备的a-C和a-C:H膜的硬度,固有应力和结构
diamond-like carbon; stress; hardness; structure;
机译:磁控溅射制备的a-C和a-C:H膜的硬度,固有应力和结构
机译:磁控溅射制备的a-C和a-C:H膜的硬度,固有应力,结构
机译:磁控溅射制备的a-C和a-C:H膜的硬度,固有应力和结构
机译:Ti / A-C和Ti / A-C:H磁控溅射膜的微观结构和摩擦学行为
机译:非垂直入射反应磁控溅射制备的金属氮化物(氮化铝,氮化钛,氮化ha)薄膜的织构演变。
机译:磁控溅射制备CrNx / Ag多层膜的微观结构和力学性能
机译:基质温度效应通过磁控溅射沉积制备的(Si,Al)/ A-C:H膜的微观结构和性质