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机译:电子回旋共振等离子体沉积的类金刚石碳膜的力学和摩擦学性能
Diamond-like carbon films; ECR plasma deposition; Mechanical properties; Tribological properties;
机译:电子回旋共振等离子体沉积的类金刚石碳膜的力学和摩擦学性能
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