MICRO system technologies 2001

摘要

Auf der MICRO SYSTEM Technologies 2001 vom 27. bis 29. Marz 2001 wurden neueste Erkenntnisse und Fortschritte in der Mikrosystemtechnik prasentiert. Dabei standen mikroelektronische, optische und mechanische Systeme im Mittelpunkt. Basierend auf den Erfahrungen und Erfolgen der Mikroelektronik und anderer Mikrotechnolo-gien, werden mittlerweile hoch miniaturisierte Systeme entwickelt und produziert, die zusehends kleiner, mobiler und autarker werden. Bei der Entwicklung und Herstellung neuer Mikrosys-temprodukte spielen Packagingtechno-logien und wachsende Systemintegration eine immer wichtigere Rolle. Im Zentrum der zu erwartenden neuen Produktgenerationen werden somit weitere Miniaturisierung, neue funktionale Vielfalt und sinkende Produktions- und Produktkosten stehen. Dabei erlangt die Entwicklung neuer Materialien und Technologien entscheidende Bedeutung - Grund genug, im nachfolgenden Bericht einige informative Beitrage zu diesem Thema vorzustellen.