PLD法により作製した超低抵抗透明導電膜

摘要

現在，透明導電膜は主として液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの透明電極として多く使われている。 また次世代のフラットディスプレイの候補として有機ELディスプレイが有望視されているが，これにも透明導電膜は不可欠である。 特に，液晶ディスプレイは従来困難とされていた大型化，応答速度の高速化の問題がブレークスルーされ，携帯電話の小型画面から液晶プロジェクター，パソコン用モニター，そして大型液晶テレビまで対応できる技術が確立され実用化に至っている。 電子顕微鏡など計測·分析装置の種々モニターにも省スペース，省エネルギー，長寿命などの利点を活かし液晶ディスプレイが多く使われるようになった。 このようなフラットディスプレイに使われる透明導電膜に要求される性能は，可視光領域での光の透過性と電気的な導電性が高いことが基本特性として挙げられる。