Neue Anwendungen fur prazise Kompensations-waagen - eine Kraftmesseinrichtung fur kleine Krafte

摘要

Kleine Krafte in dem fur die Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie interessanten mN- und μN-Bereich konnen mit Hilfe von Kompensationswaagen bestimmt werden. In diesem Beitrag wird eine neue Rraftmesseinrichtung fur die Prufung von Kraftaufhehmern fur den Messbereich von 10 mN bis 10 N vorgestellt, in der eine piezoelektrische Feinverstellung fur die Krafterzeugung und eine prazise Kompensationswaage fur die Kraftmessung zum Einsatz kommt. Eine metrologische Charakterisierung der Waage dient zur Uberprufung der Eignung, notwendige Modifikationen werden angegeben. Erste Ergebnisse der Kraftmesseinriclitung bei der Prufung eines Kraftaufnehmers werden vorgestellt.