Technik der Vakuumpumpen - Teil 5: Turbomolekularpumpen

摘要

Moderne Turbomolekularpumpen, die heute in physikalischer Forschung und industrieller Anwendung wichtigste Type der Hochvakuumpumpen, gehen letztlich auf Entdeckungen und Entwicklungen von Wolfgang Gaede [1], Holweck [2], und Siegbahn [3] zuruck, die zu Beginn des 20. Jahrhunderts erfolgten. In den 1950er-Jahren wurde aus den zuvor beschriebenen Phanomenen der zum Pumpmechanismus fuhrenden ausseren Gasreibung (Reibungvon Gasteilchen mit einer schnell rotierenden Wand) die erste "turbinenartige" Molekularvakuumpumpe von Becker entwickelt und auch fur den praktischen Einsatz gebaut [4].