Multi Inlet Turbomolekularpumpen: Einzug in die Analysentechnik der neuen Generation

摘要

Der Analysenmarkt wird getrieben von neuen Herausforderungen aus den Bereichen der Medizin, Pharmazie, Umweltschutz, Sicherheitstechnik auf Flughafen etc. entsprechende Nachweisverfahren fur Gase, pyrotechnische Produkte, Proteinen usw. zu entwickeln. Ohne die Vakuumtechnik waren heute viele physikalische Messprinzipien wie z.B. Massenspektrometer, Elektronenmikroskopie undenkbar. Analytische Instrumente auf Basis von Massenspektrometern benotigen zum Betrieb Hochvakuum. Der Druckbereich liegt zwischen 10~(-3) und 10~(-10) mbar. Zur Erzeugung solch niedriger Drucke eignen sich Turbomolekularpumpen, wie sie z. B. die Firma Oerlikon Leybold Vacuum fur den Analysen- Markt liefert. Dieser Beitrag beschreibt den neuesten Technologie-Trend. Innovative Losungen sind z. B. die MULTI INLET Turbomolekularpumpen mit kundenspezifischen Gehausen oder als Kartuschenlosung (Cartridge) zum direkten Einbau in das Analysesystem.