Qualifizierung einer neuartigen Korrosionsschutzbeschichtung fur den Einsatz von Turbomolekularpumpen in der Halbleiterindustrie

摘要

Fur den Einsatz von Turbomolekularpumpen (TMP) in Prozessen zur Herstellung von Halbleiterbausteinen wie Mikroprozessoren oder Speicherchips wurde eine spezifische Korrosoionsschutzbeschich-tung entwickelt und qualifiziert, die sich inzwischen zehntausendfach in der betrieblichen Praxis bewahrt hat Dabei handelt es sich um eine Beschichtung fur Aluminiumwerkstoffe auf Basis der "anodischen Oxidation unter Funkenentladung", die vor allem gegen reaktive halogenhaltige Gase und Gasgemische schutzen soll. Insbesondere der Pumprotor stellt aufgrund seiner hohen dynamischen Beanspruchung und seiner komplexen Geometrie hohe Anforderungen an eine geeignete Beschichtung. In dem Beitrag wird dargestellt, wie die fur den Anwendungsbereich im Maschinenbau neuartige Beschichtung zur Serienreife gebracht wurde. Der Weg dorthin gliedert sich in die Teilschritte - funktionale Eignungsprufung, - Schichtcharakterisierung und - Einfuhrung in die Serie In der Darstellung werden der Ablauf der Qualifizierung und die dabei angewendeten Verfahren beschrieben und beurteilt. Der Vorgehensweise zur Schichtqualifizierung liegt der eher pragmatische Ansatz zugrunde, in erster Linie Funktion und Reproduzierbarkeit sicherzustellen.