Transparentes leitfahiges TiO_2: Nb - ein TCO-Material der Zukunft? Neue TCO Materialien fur die transparente Elektronik und Photovoltaik

摘要

Niob dotiertes Titanoxid ist ein noch weitestgehend unbekanntes TCO-Material. Mittels Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern wurden polykristalline TiO_2: Nb-Schichten in einer produktionsahnlichen Beschichtungsanlage abgeschieden und die Eigenschaften der Schichten untersucht. Eine mittels Gleichstrom gesputterte 100 nm dicke TiO_2: Nb-Schicht zeigt nach einer thermischen Behandlung bei 450℃ einen niedrigen spez. elektr. Widerstand von 7.2 × 10~(-4) Ωcm, einen Extinktionskoeffizienten von 0.02 und eine Transmission im sichtbaren Spektralbereich von 74.8%.