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机译:脉冲闭合场不平衡磁控溅射碳化钛薄膜的工艺参数研究
Titanium; Carbide; Pulsed; Magnetron; Sputtering; Closed field; Unbalanced; Microstructure; Tribology; Friction; Hardness; Ion; Bombardment; Wear; Substrate;
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