机译:通过反应气体脉冲技术增强氧化钛,氮化物和氮氧化物薄膜的溅射
机译:通过反应气体脉冲技术增强氧化钛,氮化物和氮氧化物薄膜的溅射
机译:反应气体脉冲工艺溅射沉积的氧氮化钛薄膜
机译:以水为反应气体,通过反应溅射制备氮氧化钛薄膜
机译:颗粒能量分布对反应溅射二氧化钛和氮化钛薄膜结构和性能的影响
机译:非垂直入射反应磁控溅射制备的金属氮化物(氮化铝,氮化钛,氮化ha)薄膜的织构演变。
机译:厚度对脉冲激光沉积合成氮化钛薄膜体外生物相容性的影响
机译:通过脉冲反应性气体溅射沉积的氧氮化钽薄膜的光学,电学和机械性能