机译:脉冲直流电的等离子体诊断辉光放电与ICP结合用于深氮化工艺
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机译:AISI 1045钢的脉冲直流辉光放电等离子渗氮工艺
机译:在脉冲直流电中对工业组件进行等离子体辅助的硼化辉光放电
机译:用于氮化碳生长过程的辉光放电等离子体的发光诊断
机译:阳极磁控管增强了D.C.辉光放电工艺,用于等离子体清洁和聚合。
机译:H2 / O2混合物辉光放电中的化学作用。诊断与建模
机译:使用脉冲的D.C辉光放电与电感耦合等离子体进行氮化
机译:BCl(3)/ Cl(2)ICp等离子体中的III族氮化物蚀刻选择性;材料研究学会互联网氮化物半导体研究杂志