SensMiLi: Absolutes Wegmess-System aus einer diffraktiven q-naren Pseudo-Zufalls-Sequenz

摘要

Es wird ein neuartiges Prinzip fur ein optisch absolut codiertes Wegmess-System vorgestellt, das auf der Beugung von Licht beruht. Optimiert fur die Integration in Miniatur-Linearmotoren soll es diese zu hochdynamischen, mikrometergenauen Bewegungen in Reinraumen befahigen. Zum ersten Mal wird gezeigt wie q-nare Pseudo-Zufalls-Sequenzen durch optische Beugung codiert werden konnen und so u.a. Verbesserungen bzgl. Code-Effizienz, Integrationsfahigkeit und Robustheit ermoglichen.