Methoden und Sensoren zur Ueberwachung von Handhabungs- und Fuegeprozessen in der Mikrosystemtechnik

摘要

Der vorliegende Artikel stellt aus dem Gebiet der prozessintermittierenden Qualitaetskontrolle Aspekte aus dem Bereich der Form- und Lageerkennung von Mikrobauteilen mittels faseroptischer Streifen-projektion und eine Anwendung von bildverarbeitungsgestuetzter Prozessueberwachung vor. Zur Thematik der klassischen Postprozessmesstechnik wird im Kontext der konfokalen Laserscanning-mikroskopie eine Moeglichkeit zur Erhoehung der Flexibilitaet des Messverfahrens auf Basis angepasster Signalauswertung dargestellt. A fibre-based fringe protection system and an image processing system for the handling of a micro mixing device are presented as practical examples for intermittent in-line process control. For the classical post-process metrology for micro systems a method is shown for the confocal laserscanning microscope to improve the image quality by applying adequate data interpretation methods.