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Analysis of the structure and properties of heterostructured nanofilms prepared by epitaxy and ion implantation methods

机译:外延和离子注入方法制备的异质结构纳米膜的结构和性能分析

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摘要

The energy band diagram of multilayer nanofilm systems formed on the basis of Si, GaAs, and CaF_2 is constructed. The optimal regimes of obtaining homogeneous films of a complex composition are determined.
机译:构建了基于Si,GaAs和CaF_2形成的多层纳米薄膜系统的能带图。确定获得复杂组成的均质膜的最佳方案。

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