Fertigung von Mikrokanalen mit laserbasierter Hybridtechnologie

摘要

An der Hochschule furTechnik der Fachhochschule Nordwestschweiz FHNW wurde eine UV-La-seranlage entwickelt, um verschiedenste Werkstoffe im μm- und sub-μm-Be reich bearbeiten zu konnen. Damit lassen sich z. B. Strukturen auf Kupfer und Wolfram-Kupfer-Senkelektroden aufbringen, die in der Herstellung von Masterformen fur Mikrokanale eingesetzt werden konnen.