Durchflusssensor fur hochreine Flussigkeiten

摘要

Der hier vorgestellte Durchflusssensor ist fur die Messung kleinster Durchflussmengen ausgelegt. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,5% bei einer absoluten Genauigkeit von ±1% vom Endwert. Der Sensor kann Viskositat und Dichte bestimmen und sich rekalibrieren. Der Durchflusssensor findet seine Anwendung vorerst in der Halbleiterfertigung. Die fortschreitende Verkleinerung von integrierten Halb-leiterschaltungen stellt immer grossere Herausforderungen an die Bestimmung der jeweiligen Prozessgrossen.