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机译:多驱动和PI控制:高速和大范围原子力显微镜的简单配方
Multi-actuation; Dual actuation; Resonance compensation; Dynamics compensation; High-speed AFM imaging; Data-based control design;
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机译:用于原子力显微镜的多驱动高带宽大范围扫描仪的设计和控制
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