Experimentelle Spannungsanalyse auf der Basis von piezoresistiven MEMS-Komponenten

摘要

Bei der Einfuhrung neuer Materialien oder Prozess-technologien in eine bestehende Produktionslinie besteht die Gefahr, dass die zuvor erreichte hohe Zuverlassigkeit der Produkte nicht mehr sichergestellt ist, da unter anderem das thermische, mechanische und/oder chemische Verhalten neuer Materialien neue Anforderungen an die Prozessintegration stellt und somit das gesamte Materialsystem betrachtet werden muss.