Herstellung dreidimensionaler Strukturen in LTCC-Technologie am Beispiel eines Monitoring-Moduls fur Bio-Reaktionen

摘要

Die LTCC (Low tempemture co-fired cemmic) wurde fur den Aufbau von hoch zuverlassigen Mehrlagenschaltungen entwickelt. Sie wird als bedeutsame Weiterentwicklung der Dickschichttechnik angesehen, insbesondere da sich durch sie die Moglichkeiten eroffnet, komplexe dreidimensionale Strukturen in einfacher Weise aufzubauen, wodurch sich neue Applikationsfelder fur diese Mikroelektronik-Technologie eroffnen. So kann sie in der Mikrofluidik, im Bereich des Device-Packagings zur Realisierung von Bioreaktoren, Sensoren und Aktuatoren eingesetzt werden. Am Beispiel eines Monitoring-Moduls zur Erfassung von biologischen Reaktionen, der von einem Netzwerk von Kanalen durchzogen ist und Hohlraume beinhaltet, sollen Aspekte, die bei der Realisierung von komplexen dreidimensionalen Strukturen beachtet werden mussen, aufgezeigt werden.