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机译:带压差器的主动控制式气动隔离台上虚拟副室的实现
Isolation table; Active control; Air-spring; Pressure differentiator;
机译:带压差器的主动控制式气动隔离台上虚拟副室的实现
机译:新型高精度,快速响应压力调节器,用于主动控制气动隔振台
机译:气动和时滞控制技术对气动隔振台的三自由度主动控制
机译:压力隔离器的模型跟随控制对气动隔离台的主动控制
机译:一个独立的微制造纳升流体系统,使用疏水模式和热气压力腔。
机译:利用压力和速度测量以及自适应模糊滑模控制器进行主动气动振动控制
机译:使用两种自由度控制器的气动振动隔离表的主动控制
机译:气动隔离系统的主动控制