机译:用于平台位置和直线度纳米测量的两自由度线性编码器的设计与构造
Measurement; Linear encoder; Two-degree-of-freedom displacement; Position; Straightness;
机译:用于平台位置和直线度纳米测量的两自由度线性编码器的设计与构造
机译:用于超精密线性平台中六自由度运动误差测量的单单元多功能光学编码器的设计和构造
机译:编码器通过刻度尺线性设计提供绝对位置测量
机译:一种用于位置和直线度测量的两自由度线性编码器
机译:用于纳米材料测量的线性和非线性光学系统的设计和构建:在时空范围内走向化学。
机译:基于3D正弦槽线性反射光栅和基于三角波的细分方法测量精密线性平台的倾斜运动直线度和位置的方法
机译:使用模型参考型滑模控制器设计线性直流电动机两度自由度定位系统