Rein digitale und hybride analog-digitale Strahlprofil-Messtechnik

摘要

Design und Aufbau hochpraziser optischer Systeme der nachsten Genera-tion werden durch hybride analog-digitale Laserstrahlprofil-Messtechnikunterstutzt. Die erstmals auch kommerziell erhaltliche Technik beruhtauf kleinen analogen Verschiebungen eines Digital Micro-Mirror Device(DMD) und dessen Chip-interner digitaler Steuerung von fast 1 MillionMikrospiegeln, die wie programmierbare Lochblenden wirken. Selbst beischwankender Laserleistung erreicht ein solches groBflachiges Profilome-ter sub-pm Auflosung far ultraviolette, sichtbare und nahinfrarote Laser-strahlen im Watt-Bereich. Ein auf LCD-Basis ahnlich aufgebautes, aberrein digitales Strahlprofil-Messgerat befindet sich in der Entwicklung.